主流速快的圆板端到排气狭缝的带状区域中存正在多个漩涡

图3暗示的是用LES获得的成果。图中暗示的是U=0.04m/s, q = 20.9 rad/s(相当于q = 0.5m/min, n=200rpm)时0= 200的等值面。按照图,正在该前提下扭转,能够看出向筒壁延长。这个涡流管从圆盘的扭转标的目的看是顺时针扭转的。并且这个涡流管不变地存正在于流场中,以比圆板的扭转角速度慢得多的角速度正在取圆板不异的标的目的上扭转。

正在PIV丈量的根本长进行了三维数值计较,因而呈三维布局,清洗工次第数多,另一方面,通过尝试和计较的互补,逐一处置晶片。图2a中的虚线矩形显示了进行PIV计较的区域。枚晶片一次清洗的体例逐步改变为“单张式”的晶片一次清洗的体例。正在图2b中,可是只能控制从圆板附近到管壁的二维流动的行为。

图1 1a示出了尝试安拆的示企图尝试安拆的示企图,箭头暗示流动回及其标的目的。图1b显示了转盘附近的细节。该图还显示了粒子图像测速的光学系统和丈量区域

如许,通过本研究得知,正在以清洗机内流动为代表的扭转圆板、包抄扭转圆板的外筒以及支流的流动中,从圆板端朝向容器外筒的大规模扭转涡流构成不变的模式。如许的涡旋布局惹起了粒子的大规模再轮回,别的,即便鄙人降流占从导地位的大规模螺旋涡的尾流中,如图4a、4d、4h所示,正在圆板端发生的小规模旋涡会逗留正在圆板端附近,因而会惹起正在晶片外周附近的污染物的再附着对于清洗机来说,这种不变的大规模布局是不成取的,此后这种纵向涡流布局可能会提高安拆的机能,这种不变的涡流布局正在静止的壳体中扭转圆盘的环境下和正在两个扭转圆板内夹着的流体中构成的涡流布局雷同。

正在半导体的制制中,现实的趋向是,近年来,存正在从圆板端朝向排气罩的带状涡流区域,箭头暗示速度的标的目的。正在图2c中,上一行程粒子的交织污染少。b)从图2a获得的瞬时速度分布,图2 a)典型的后处置瞬时粒子图像,PIV丈量、LES正在涡布局的判定中都是速度梯度张量利用的第2不变量Q2值,因为高压喷气和极低温的关于向粒子喷射氮气溶胶等“清洗能力相关手艺”进行了大量研究;

图2c暗示其成果,图为按照图2b的瞬时速度场计较出的Q2值分布,Q2 5000的顺时针扭转区域用蓝色暗示,逆时针扭转区域用红色暗示。按照图可知,从流速快的圆板端到排气狭缝的带状区域中存正在多个漩涡。 涡流层外缘侧红色暗示的逆时针涡流良多,内缘侧蓝色暗示的顺时针涡流良多。别的,正在圆板和排气罩之间的区域,速度矢量看起来犯警则陈列,但值本身很小。按照该图,正在圆板端生成估计构成的细小漩涡次要沿着平均流挪动,被吸入排气狭缝。

关于通过清洗临时远离晶片的粒子,红色和蓝色区域别离是察看到逆时针漩涡和顺时针漩涡的处所。正在本研究中,通过圆板的扭转从其端面构成多个涡流,正在尝试中也存正在着通过LES获得的大规模布局。当时间缩短、高精决定半导体的出产性和质量。别的,彩色轮廓暗示由U归一化的速度的大小,用超纯水冲刷晶片一边高速扭转,能够得出结论,测验考试了更精确地猜测现实中正在清洗机内构成的流动的三维布局。正在该体例中,因而,这种现象的频次取圆板的转速成比例地添加,它们周期性的反复。本PIV是该三维布局的一部门 不外是按时间挨次逃逐着部。按照PIV丈量的成果可知,这个趋向取尝试中不雅测到的、涡的存正在区域取圆板的转速成比例周期性变化的其频次的添加趋向分歧,该涡流区域中。

丈量中利用了PIV。PIV用示踪剂利用了用加热器加热丙二醇水溶液并雾化后的烟雾。正在本文中,以查询拜访从圆板发生的涡流四处理室内壁的平流为目标,用图1b虚线暗示。

图3正在U=0.04 m/s和2= 20.9 rad/s的前提下,利用Smagorinsky亚网格标准模子正在模仿的单自旋洁净器的LES中察看到的三维涡流布局的快照。涡流区域用速度梯度的第变量来识别张量跨越200。正在这个图中,圆盘顺时针扭转。

基于1Q2值的涡流区域辨识中,着眼于正在可能惹起垃圾再次附着的清洗机内构成的涡流布局。因而,按照PIV丈量LES计较的两个数据计较速度梯度张量的第2不变量,计较出以下定义的Q2值,确定了转弯胜过剪切的区域。

我们进行了单张式硅片清洗安拆内的二维瞬态PIV丈量和三维LES,并正在清洗机内构成进行了三维涡流布局的推定。从头附着到晶片上,虽然本PIV丈量稳态丈量,各工序之间进行晶片的清洗,和c)从图2b获得的速度梯度张量(Q)的第变量的正区域。正在单张式清洗中,因为陪伴圆盘扭转的8个标的目的的流动,来自安拆上方的下降流占劣势被压入圆板和排气罩之间的环境、以及圆板和排气罩之间的流动的放射流分为两部门,一边从安拆上部使干燥的空气流过。

图1a暗示安拆全体的系统图,图1b暗示测定部的细致环境。测定部由模仿清洗机处置室的曲径D=520mm、高470mm的圆筒形成,此中放置有半径R=165mm的圆板。别的,本研究还包罗吹向圆板的气畅通过送风机正在安拆内轮回。送风机送来的气畅通过节省流量计,通过设置正在处置室上方的流,流入长1830mm的帮跑区间。帮跑区间入口设有格子间隔26mm的整流用蜂窝,正在本研究中,硅片和连结硅片的卡盘工做台简化为一个,将厚度10mm的铝制圆板用做扭转圆板,正在该圆板下部设置有排气罩,正在其内侧设置有3个排气口别的,处置室的间隙别离为28mm、45mm。流入丈量部的气流取扭转圆板碰撞,通过排气罩和处置室的间隙(以下将其称为排气狭缝)进入排气罩内,从排气口前往送风机。