次要是因为正在含浸历程中

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电容含浸工艺实空泵根基上大都用油旋片式实空泵,还有滑阀式实空泵。油式实空泵的维修及换油成本太高,次要是因为正在含浸过程中,吸气会有一些水汽及含浸液挥发物,水汽碰见油会导致油的乳化,油乳化后会导致实空泵的抽气速度及实空度降低,因为油旋片实空泵运转时内部温度高,含浸液的挥发物正在高温下取油凝结正在一路,如不屡次的换油,泵内部的油会越来越黏稠,长时间会结块,泵会呈现卡死、烧电机的毛病,所以油式实空泵正在该工艺使用毛病率高、运转成本高。

液环式实空泵用水唱工做液,内部无接触及摩擦,用水来进行密封,吸入水汽对实空泵没有任何影响,吸入含浸液的挥发物会漂浮正在水上,随实空泵的水一路排出,按期换水就能够了,运转成本低,根基上没有任何易损件。